三氯氧磷扩散过程中可能出现哪些问题？如何解决？​

赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司2025-04-05

常见问题之一是扩散不均匀，可能是温度不均匀、气体分布不均或硅片放置不当导致。解决方法是检查并校准温度控制系统，优化气体输送管道和流量控制，调整硅片载具。如果出现杂质浓度过高或过低，可能是 POCl₃流量、扩散时间或温度设置不合理，需重新调整工艺参数。还有尾气处理问题，若尾气排放不达标，要检查尾气处理装置是否正常运行，及时更换吸附剂或维修设备。另外，POCl₃具有腐蚀性，可能导致设备部件腐蚀损坏，要定期检查设备，对受损部件及时更换。​

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